精密而又准确的基板间距的维持

线夹传输垂直连续镀 (WCT VCP) 使用带夹吊架,其中吊架夹与一根特殊电线相连。由于吊架沿着电镀区移动时牢牢固定在电线上,因此在电镀区起点设置的基板间隙保持在 ±1 mm 以内。

基板间隙完全配置。
间隙保持在±1 mm 以内。